阿爾卡特ADP122真空泵維修
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產(chǎn)品名稱: 阿爾卡特ADP122真空泵維修
產(chǎn)品型號: ALCATEL ADP122
產(chǎn)品展商: 阿爾卡特真空泵維修
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
阿爾卡特ADP122真空泵維修
應(yīng)用：
H 型：針對非?div id="m50uktp" class="box-center"> ？量痰墓に?P 型：針對中等工藝
LM 型：針對干凈的工藝
優(yōu)點(diǎn)：
體積小，占地面積小
使用成本低
非常高的性能（抽速以及極限壓力）
在苛刻環(huán)境下出色的運(yùn)行效果
易于一體化
先進(jìn)的監(jiān)控功能 （待機(jī)狀態(tài)可減少N2 的消耗量
，斷電保護(hù)）
SEMI S2-93 標(biāo)準(zhǔn)的兼容性（可選）
阿爾卡特ADP122真空泵維修
的詳細(xì)介紹
阿爾卡特干泵的設(shè)計可將潛在沉積物*小化：
?? 通過減小氣體經(jīng)過的中間腔的容積
?? 通過在泵的每**進(jìn)行 N2 吹掃從而稀釋工藝氣體（P 和H 型）
?? 通過調(diào)節(jié)真空泵的溫度使其符合各個工藝 ，從而限制氣體在泵內(nèi)的冷凝（P 和H 型）
多級羅茨的工作原理：
ADP 真空泵由5 級羅茨組成。兩個轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時互不接觸
。
ADP 122
，共有2 個型號
ADP 122 P: 和外部的密閉機(jī)架一體化，包含：泵
，監(jiān)控系統(tǒng)
，手動遙控器，水電氣設(shè)施接
口
，流量計面板
，OEM 接口和串口連接等。
ADP 122 LM: 簡化后的帶監(jiān)控系統(tǒng)的型號，用于干凈的工藝（load-lock 和transfer chamberpumping）。
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