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真空泵保養(yǎng)的機(jī)械選擇（一）

⑴真空泵保養(yǎng)工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響

。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

⑵了解被抽氣體成分

，氣體中含不含可凝蒸氣

，有無顆粒灰塵

，有無腐蝕性等。選擇真空泵時

，需要知道氣體成分

，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣

、顆粒、及腐蝕性氣體

，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器

、除塵器等

。

⑶真空泵保養(yǎng)在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量

。

⑷正確地組合真空泵

。由于真空泵有選擇性抽氣

，因而

，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來

，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求

。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦

，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速

，兩者組合起來

，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外

，有的真空泵不能在大氣壓下工作

，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓

，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用

。

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