ALCATEL ADP122真空泵維修
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產(chǎn)品名稱: ALCATEL ADP122真空泵維修
產(chǎn)品型號: 阿爾卡特ADP122
產(chǎn)品展商: 阿爾卡特真空泵維修
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
ALCATEL ADP122真空泵維修
應(yīng)用：
H 型：針對非?div id="jfovm50" class="index-wrap">？量痰墓に?
P 型：針對中等工藝
LM 型：針對干凈的工藝
優(yōu)點：
體積小，占地面積小
使用成本低
非常高的性能（抽速以及極限壓力）
在苛刻環(huán)境下出色的運行效果
易于一體化
先進的監(jiān)控功能 （待機狀態(tài)可減少N2 的消耗量
，斷電保護）
SEMI S2-93 標(biāo)準(zhǔn)的兼容性（可選）
ALCATEL ADP122真空泵維修
的詳細介紹
阿爾卡特干泵的設(shè)計可將潛在沉積物*小化：
?? 通過減小氣體經(jīng)過的中間腔的容積
?? 通過在泵的每較好進行 N2 吹掃從而稀釋工藝氣體（P 和H 型）
?? 通過調(diào)節(jié)真空泵的溫度使其符合各個工藝，從而限制氣體在泵內(nèi)的冷凝（P 和H 型）
多級羅茨的工作原理：
ADP 真空泵由5 級羅茨組成。兩個轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時互不接觸
。
ADP 122，共有2 個型號
ADP 122 P: 和外部的密閉機架一體化
，包含：泵
，監(jiān)控系統(tǒng)，手動遙控器
，水電氣設(shè)施接
口
，流量計面板，OEM 接口和串口連接等
。
ADP 122 LM: 簡化后的帶監(jiān)控系統(tǒng)的型號，用于干凈的工藝（load-lock 和transfer chamberpumping）。
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真空泵維修價格
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