愛(ài)德華IH80真空泵維修
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產(chǎn)品名稱: 愛(ài)德華IH80真空泵維修
產(chǎn)品型號(hào): BOC EDWARDS IH80
產(chǎn)品展商: 愛(ài)德華真空泵維修
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
Edwards iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠
、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級(jí)主泵，使用**的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨設(shè)計(jì)，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺(tái)單級(jí)機(jī)械增壓泵和完全封閉的水冷卻電機(jī)。
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愛(ài)德華IH80真空泵維修
的詳細(xì)介紹
愛(ài)德華IH80真空泵維修
功能和優(yōu)勢(shì)：
1、優(yōu)化了設(shè)施消耗。
2、無(wú)需預(yù)防性維護(hù)。
3、懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
4、在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)*大程度提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
5、耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
6、較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的**保證。
7、整體式軸桿無(wú)需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積