愛德華IH1000真空泵維修
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產(chǎn)品名稱: 愛德華IH1000真空泵維修
產(chǎn)品型號: BOC EDWARDS IH1000
產(chǎn)品展商: 愛德華真空泵維修
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簡單介紹
Edwards iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒
、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵，使用**的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨設計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和完全封閉的水冷卻電機。
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愛德華IH1000真空泵維修
的詳細介紹
愛德華IH1000真空泵維修：
愛德華IH1000真空泵應用范圍：
負載鎖、輸送、計量、平板印刷、PVD制程、PVD預清潔、RTA、剝離/灰化、蝕刻
、植入源
、HDP CVD
、RTP、SACVD
、MCVD、PECVD
、LPCVD、ALD
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