愛(ài)德華IH1000真空泵維修
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產(chǎn)品名稱(chēng): 愛(ài)德華IH1000真空泵維修
產(chǎn)品型號(hào): BOC EDWARDS IH1000
產(chǎn)品展商: 愛(ài)德華真空泵維修
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簡(jiǎn)單介紹
Edwards iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒
、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級(jí)主泵，使用**的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨設(shè)計(jì)，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺(tái)單級(jí)機(jī)械增壓泵和完全封閉的水冷卻電機(jī)。
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愛(ài)德華IH1000真空泵維修
的詳細(xì)介紹
愛(ài)德華IH1000真空泵維修：
愛(ài)德華IH1000真空泵應(yīng)用范圍：
負(fù)載鎖、輸送 、計(jì)量
、平板印刷、PVD制程
、PVD預(yù)清潔、RTA
、剝離/灰化
、蝕刻、植入源
、HDP CVD
、RTP、SACVD
、MCVD、PECVD
、LPCVD
、ALD
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